产业应用

?机械用的密封件、帮浦、阀件                                   ?低溢出气体
?接头搅拌器、管件                                                       扩散(Diffusin):
?静态或有限的动力学(O形环)                                     ?干制程：化学气相沉绩、蚀刻(ETCH)
?相当低的压力(O形环)                                                 ?设备: TEMPRESS、R&R  
?宽广的温度范围                                                          ?湿制程：显影、蚀刻、清洗  
?耐化学的能力                                                              ? 设备Rena